本发明提供一种重掺硅片氧碳含量的测试方法，包括：使用二次质谱仪检测一级标样的离子强度，计算出RSF值，利用RSF值计算出二级标样的碳氧元素浓度，与已知二级标样的碳氧元素浓度对比，在标准范围内则利用此RSF值计算待测样片的碳氧元素浓度。本发明的有益效果是有效的解决重掺硅片表面氧沉淀会造成漏电，使器件失效、高密度的氧沉淀又会形成缺陷，对产品带来一定的影响，而碳易与氧和缺陷构成复合体，诱生产品缺陷；利用现有检测法测试出来的碳氧元素浓度存在不确定性，不能确定RSF值是否准确的问题。
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来源：北方有色网
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