本申请涉及一种集成电路失效率获取方法，包括：确定集成电路的至少一种本征失效机制；根据至少一种本征失效机制，在待测样品上形成与各本征失效机制相应的测试结构；根据至少一种本征失效机制，确定与各本征失效机制相应的试验方案，试验方案包括多组不同的应力条件；根据试验方案，对多个待测样品上的相应测试结构进行寿命测试试验；根据寿命测试试验，获取与各本征失效机制相应的失效物理模型；根据与各本征失效机制相应的失效物理模型，获取集成电路的失效率。本申请能够有效降低获取集成电路失效率的成本有效提高获取的集成电路失效率的准确性。
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来源：北方有色网
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