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预测晶圆失效率的方法及其装置

1071   编辑：管理员   来源：北方有色网  
2023-03-19 08:59:34
本发明提供了一种预测晶圆失效率的方法及其装置。通过对多个目标晶圆的预定项目的测量结果和所述预定项目对应的项目失效率进行拟合运算，以获得目标晶圆的预测失效率，进而能够在晶圆的生产过程中即可以高效准确的预测目标晶圆的晶圆失效率。
声明：
“预测晶圆失效率的方法及其装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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