本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种反射腔式共焦超大曲率半径测量方法。该方法通过共焦定焦原理配合平行平晶精确定位被测表面的焦点位置，进而实现超大曲率半径的高精度测量。本发明提出共焦定焦原理与反射腔式折叠光路原理相结合的方法，具有被测件移动距离小、光路简单、测量精度高、测量速度快、抗环境干扰能力强、对被测表面无损伤等优点，可用于超大曲率半径的高精度非接触测量。
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来源：北方有色网
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