本发明公开了一种基于透过率的在线检测CdS薄膜厚度的系统，包括：单色光源发生器、光强检测系统、若干传感器、控制器及能将透过率数据转换为膜厚数据的计算机；传感器用于检测CdS薄膜的位置，并将检测发送信号发送给控制器；控制器接收到传感器信号后，控制单色光源发生器及光强检测系统工作；单色光源发生器及光强检测系统用于在线检测CdS薄膜的透过率；光强检测系统将检测数据传输至计算机，获得膜厚数据。本发明采用CdS薄膜吸收敏感波段，检测分辨率能够达到纳米级别。此外，该系统还具有无损、检测速度快等特征，能够嵌入生产线。
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来源：北方有色网
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