本发明涉及干涉激光超声无损检测系统，包括：激光激励组件用以向工件发射脉冲激光；聚焦镜布置在第二激光器的出光口处；第一点阵金属膜半透半反镜倾斜布置，且金属膜面朝向聚焦镜的出光侧；第二点阵金属膜半透半反镜倾斜布置，且背离金属膜面的一面朝向第一点阵金属膜半透半反镜的金属膜面；光电探测器其布置在第二点阵金属膜半透半反镜的金属膜面侧；信号处理器与光电探测器电连接。不再使用分光镜，而是采用两块点阵金属膜半透半反镜，解决了传统分光镜造成的回光损失以及损伤激光器和自身引入杂光带来的影响，可实现多角度反射和透射，采用分光路干涉，光路没有干扰；器件少易于实现小型化；实现稳定、便携、高精度要求。
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来源：北方有色网
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