碳源可控单壁
碳纳米管阵列的制备装置，该装置包括：气体管路控制部分，高温管式实验主体，尾气吸收处理装置。气体管路控制部分包括气体流量计、开关阀、液体容器、导气管；高温管式实验主体主要包括法兰、高温管式炉、石英管、基片。气体管路控制部分的导气管最终指向石英管。石英管两端塞紧法兰，法兰上留有导气管连通孔。石英管外壁设有高温管式炉，石英管内部中间处放有基片，石英管另一端通过导气管连接尾气处理装置。本装置具有的优点是改进传统的化学气相沉积方法(CVD)，实现碳源可控，减少更换碳源装置的繁琐，以及改装碳源装置后续繁琐的检查气密性工作，节约时间，提高效率和准确性。
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“碳源可控单壁碳纳米管阵列的制备装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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