本发明公开了一种气体传感器的加热装置,包括硅衬底和
铝电极,所述硅衬底的背面通过一铝电极与PTC热敏电阻的一端面电连接,铝电极与加热电源的正极相接;PTC热敏电阻的另一端面通过另一铝电极与加热电源的负极电连接;硅衬底的正面经过
电化学腐蚀制成多孔硅,并在其上涂加气敏材料,万用表与气体敏感区域相连用于实时测量该区域的电阻变化;同时在加热电路中设置一控制加热装置电路开关的电键。通过本发明提供的结构设计而成的高温下气体测试传感装置,可以方便的实现气体传感器的高温测量,具有加热温度稳定和易于控制的优点,同时,结构简单,成本低廉,使用寿命长也是本发明装置的一大特点。
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来源：北方有色网
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