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多温区滑轨管式炉的控制方法

1136   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:17:30
本发明公开了一种多温区滑轨管式炉的控制方法,包括S10、针对每个温区,设定所述温区的目标温度值;S20、对所述温区内的至少三个测温点测温,获得实际温度值集合;S30、将所述实际温度值集合带入三次B样条曲线方程中,获得所述温区内的温度拟合曲线;S40、根据所述温区内的温度拟合曲线,获得所述温区内温度最接近所述目标温度值的目标位置;S50、将石英舟移动至第一个反应温度对应的温区的所述目标位置,通入第一种气源,进行化学反应;S60、当前反应步骤完成后,将石英舟移动至下一个反应温度对应的温区的所述目标位置,通入下一种气源,进行下一步的化学反应。本发明既能够为实验者提供最准确的温度参数,又提供了良好的实验重复性。
声明:
“多温区滑轨管式炉的控制方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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