一种用于制备超级电容器RuO2电极材料的直流-示差脉冲组合电沉积技术， 采用纯度大于99.95％的金属钽箔作为基片，配置RuCl3·3H2O、SnCl2和NaNO3的混合 溶液，浓度分别为1～5mmol/L、0.2～1mmol/L和10～200mmol/L，经充分搅拌、 静置。以石墨做阳极，金属钽片为阴极，先用1～3mA/cm2直流电流沉积0.5～1h， 再采用示差脉冲电流沉积沉积2～3h，电压脉冲宽度为1～10sec，脉冲周期为2～ 20sec，振幅为0.01～0.02mA/cm2，每点电压增益为0.005～0.01mA/cm2，其终止电 流密度为5～8mA/cm2。制备RuCl3·3H2O薄膜前驱体，薄膜自然凉干后经过200～ 500℃处理，升温速率为10℃/s，保温时间为2-3h。本发明首次提出采用直流- 示差脉冲组合电沉积技术制备RuO2薄膜，工艺简单，操作简便，具有一定的工业 价值。用CHI660C
电化学测试仪对薄膜材料的电化学性能进行测试，附着力的测 试采用GB5210-82拉开法，测定比电容达720F/g，附着力达11.3MPa。
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来源：北方有色网
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