一种减少晶边研磨颗粒残留的装置，包括氢氟酸酸槽、节流阀、机台化学柜、流量侦测器、第一氢氟酸喷头以及第二氢氟酸喷头，其中，氢氟酸酸槽通过输送管线与机台化学柜连通，并且与氢氟酸酸槽连通的输送管线上设置有节流阀，机台化学柜与第一氢氟酸喷头以及第二氢氟酸喷头通过输送管线连通，与第一氢氟酸喷头以及第二氢氟酸喷头连通的输送管线上设置有流量侦测器，流量侦测器通过输送管线分别与第一氢氟酸喷头以及第二氢氟酸喷头连通，第一氢氟酸喷头位于待处理晶圆的晶面上方，第二氢氟酸喷头位于待处理晶圆晶面的侧部。操作时第一氢氟酸喷头和第二氢氟酸喷头对晶圆的表面以及晶边进行全面的清洗，减少研磨液残留，提升产品良率。
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来源：北方有色网
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