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场效应管氢气传感器及其制备方法

1230   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:04:04
本发明公开了一种场效应管氢气传感器及其制备方法,属于气体传感器领域。主要特点是将氢气敏感薄膜与场效应晶体管进行集成,利用场效应管将氢气敏感薄膜与氢气作用发生的物理化学变化转化为电信号,放大实现对低浓度氢气的检测。本发明的氢气传感器具有功耗低、灵敏度高和易于集成的特点。
声明:
“场效应管氢气传感器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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