本发明一种微流量传感器及其制作系统和方法；所述传感器包括作为基底的压电薄膜，设置在压电薄膜正面或反面的微绒毛阵列，以及压电薄膜的正反两面分别设置的传感器电极；微绒毛阵列能够在气体或者液体的冲击下产生弯曲；压电薄膜将微绒毛阵列中弯曲变形的绒毛所引起的基底形变转换成电信号输出；传感器电极用于检测压电薄膜输出的电信号。通过单管探针局部
电化学沉积的方法，在控制主机的实时监测和控制微位移执行器运动下，在压电薄膜上生长出绒毛阵列传感器。当阵列受到微流体不同方向冲击时，其微绒毛产生相应的应变，带动绒毛根部的压电薄膜产生微小形变，该形变在压电薄膜两极上产生微电压，通过实时监测微电压信号幅值进行微流量检测。
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来源：北方有色网
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