本发明提供的是无阀微泵及其封装方法。首先制作好微泵泵体,在泵体的腔体处同心地放置一个环形密封弹性垫,在环形密封弹性垫上同心地放好压电陶瓷蜂鸣片,压电陶瓷蜂鸣片的PZT面朝腔体外,在压电陶瓷蜂鸣片上同心放置一个金属环,使用夹具将各零部件自上而下地压紧,然后,用密封树脂胶将金属环至泵体的各零部件进行胶接、固化。本发明具有密封性能好、工作稳定、可靠性高、便于批量生产等优点。本发明的产品可广泛应用于可用于微型飞机、微型航天器发动机的推进控制,以及微化学分析、生物医药等领域。
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来源：北方有色网
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