一种光激活纳米氧化物半导体气敏传感器,由光激发器、微结构气敏
芯片和定位台组成,其中光激发器由照明光源、会聚镜、单色仪和聚焦透镜组构成,以提供频率和强度可调的激发光束,照明光源发射出的光束经会聚镜聚焦,再通过单色仪成为频率可调的单色光,经过聚焦透镜组会聚照射在微结构气敏芯片上,微结构气敏芯片由硅基底、叉形电极和覆盖在叉形电极上的半导体氧化物敏感膜构成,并固定在定位台上。本发明通过调节光激发器出射光束的频率和强度,聚焦照射在微结构气敏芯片上,使光激活气体分子与半导体氧化物敏感膜表面发生化学吸附和脱附反应,通过叉形电极测量敏感膜电阻变化,可在室温下实时快速检测低浓度气体。
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来源：北方有色网
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