本发明涉及压电传感器阵列,特别是一种集成微型压电谐振式传感器阵列的
芯片。旨在解决已有压电传感器阵列灵敏度较低、精度较差、检测复杂、干扰较大等问题。本阵列芯片包含至少两个压电谐振片2及其上侧片面上的微电极4,其特征在于有共用的一个绝缘的基片1,在基片上的共用的基电极3与上述各压电谐振片的下侧片面相接。用于微量和超微量物理量、化学量和生物量的
分析检测。
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“微型压电谐振式传感器阵列芯片” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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