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用于监测和控制硅棒温度的方法和系统

975   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:29:08
本发明公开了用于监测和控制硅棒温度的系统和方法。一个示例是在化学气相沉积(CVD)过程期间监测CVD反应器中的至少一个硅棒的表面温度的方法。该方法包括捕获CVD反应器的内部的图像。该图像包括硅棒。扫描该图像以识别硅棒的左边缘和硅棒的右边缘。识别在左边缘和右边缘中间的目标区域。确定目标区域中的硅棒的温度。
声明:
“用于监测和控制硅棒温度的方法和系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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