本发明涉及一种原位非接触探测金属有机物化学气相沉积(MOCVD)石墨温度分布的方法。该方法是利用数码相机对石墨进行拍摄,并根据需要在相机镜头前加滤光镜,然后利用电脑读取所拍摄的图像中的数据文件,根据文件所记录的构成每个象素点的三基色(红、绿、蓝)分量值的大小来确定石墨的温度分布特性。该方法不仅成本低、温度分辨率和空间分辨率很高,而且多点同时测量,测量速度快,可以进行数字处理、记录和保存。
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来源：北方有色网
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