本发明涉及一种测量硅抛光片表面铁含量的方法，所属硅抛光片金属含量检测技术领域，包括如下操作步骤：第一步：使用SPV法测出硅抛光片体铁含量，记为B1。第二步：把硅抛光片放入退火炉在高纯氩气保护下，在高温下加热10～20分钟，使硅抛光片表面的铁驱入硅片体内。第三步：再次使用SPV法测出硅抛光片体铁含量，记为B2。第四步：利用SPV法测量高温前后两次体铁含量算式算出硅片表面铁含量，硅片表面铁含量=0.5×（B2‑B1）×T。具有方法简单、操作方便、节能环保和安全稳定性高的优点。解决了危险化学品使用的问题。避免了化学液的环保处理过程。
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来源：北方有色网
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