一种在线检测系统(200)和方法,用于实时检测流动气流中的杂质浓度。一个特别的方面,系统可包括一个在线监测系统,用来确定流动气流中的杂质类标定的浓度,在低于预定的浓度值的低浓度范围内,以及在高于预定的浓度值的高浓度范围内。一个传感器连接装置(214)使净化器(208)与感测装置(212)互连,用以监测气流中的杂质水平。一个开关阀(230)插入配置在净化器(208)和传感器(212)之间的流动环路中,用来有选择地控制来自气流的已净化的和未净化的气体流向杂质检测装置。系统可在水为重要杂质情况下采用湿度计传感器,或者采用敷有合适的杂质亲合敷层的超声波(SAW)器件。系统在监测半导体器件制造中的汽相处理,例如化学蒸法镀敷中所用的气流中的低杂质水平(例如大约0.1ppm至大约100ppm)方面特别有效。
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来源：北方有色网
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