纳米光谱在线测厚仪
品牌型号： 赛默斐视
检测对象： 薄膜/镀膜/涂布等
厚度范围： 10纳米-100微米
检测精度： 0.1mm(取决于相机数量、产线幅宽及车速)
软件功能： 提供针对客户在线系统的定制检测系统
产品介绍
现代薄膜涂布镀层工艺在进行在线生产过程中，需要对膜厚及涂层厚度进行实时的在线测厚，由于传统的射线类膜厚
检测仪检测精度低、易偏移、难于校准等缺点给实际的工艺产品质量控制造成了很大的影响，SIMV涂层(膜厚)在线测厚仪，采用纳米光学干涉的方式，可同时对20层不用涂层、薄膜进行同时测量，同时精度高达1nm，完美的解决了传统射线类在线测厚仪有辐射、偏移周期长、检测精度低、不能检测涂层厚度的缺点。赛默斐视涂层厚度在线测厚仪检测精度高，同时能够实时在线自动校准，有效的保证了在线测厚仪的检测精度。
【检测原理】
当特定波长的光通过不同的的材料(不同的厚度、密度、成分)时，经过表面及内部多次反射之后形成的光谱条纹是完全不一样的，系统通过分析所接收到的反射光的光谱干涉条纹特性，与系统库中的光谱曲线进行匹配和对比，同时进行特征曲线的仿真和拟合，进而对每种不同成分厚度的涂层进行在线测量。
1.入射光在膜的上下表面发生多次反射。
2.反射光的强度和薄膜折射率，基底(substrate)折射率及膜厚，波长有关。
3.在已知折射率的情况下，根据测量出的反射光强和波长的函数，计算出膜厚。
功能概述
1测量镀膜或涂布厚度，厚度范围在10纳米-100微米，准确度达到2纳米或厚度0.4%，精度达到0.1纳米，测量稳定性0.3纳米。
2精确测量样品的颜色和在380-780纳米可见光范围内的反射率曲线。
3测量软件支持20层以内的物理模型，并对多个参数进行同时测量。
4具有折射率模型编辑拟合功能，对于100纳米-几个微米的膜，可以在折射率未知的情况下，结合软件对膜厚，折射率参数进行同时测量。
5软件具有对样品的粗糙度，背面反射，多角度入射进行建模的功能
6软件还可针对已知样品的模型，使用不同入射角和偏振进行仿真以计算不同情况下反射率曲线。
7软件还拥有近千种材料的材料数据库，同时还支持函数型(Cauchy,Cauchy-Urbach,Sellmeier), 物理光学（Drude-Lorentz,Tauc-Lorentz）,混合型（Maxwell Garnett, Bruggeman）EMA 等折射率模型。
8客户还可以通过软件自带数据库对材料，菜单进行管理并回溯检查测量结果
9我们还提供针对客户在线系统的定制检测系统。
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