本发明公开了一种悬臂梁微量检测传感器及其制备方法。该传感器是将经过重金属扩散或者伽马射线辐照处理过的金属-硅肖特基二极管嵌入硅悬臂梁适当位置的表面,用以将力学信号转化为电学信号。在悬臂梁的一个表面淀积薄的
贵金属层,在该金属层上通过自主装的方法生长上具有特异性吸附能力的单分子敏感层。被检测化学物质与敏感层分子结合时在悬臂梁上下表面产生表面应力差,致使悬臂梁发生弯曲,从而在悬臂梁根部产生集中的弯曲应力,该应力由嵌入悬臂梁表面的肖特基二极管检测。本发明提供的传感器,结构简单、制作简便、灵敏度高、分辨率高,可应用于力传感器和扫描探针等,在环境检测、食品安全、航天军事等领域有重要应用。
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来源：北方有色网
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