本实用新型涉及一种制备二维薄膜材料的化学气相沉积装置。其包括：气源；反应腔体，其设有进气口和置物口，置物口设有开合门；主腔体，反应腔体位于主腔体内；主腔体内部设有加热装置，表面设有进气孔，进气孔通过气管与进气口连接；温度测量装置，包括温度传感器以及温度显示装置；抽真空系统，抽真空系统与主腔体连接；真空测量装置，连接于主腔体，其包括插入主腔体内的测量头；还包括：等离子体增强装置，其设置于气源与主腔体之间，气源通过管道与活性增强人口连接，活性增强出口通过法兰与进气孔连接。本实用新型通过设置等离子体增强装置对反应气体等离子化，增加反应气体的活性，使得反应气体反应的温度降低，且反应周期短，节省成本。
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来源：北方有色网
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