本发明公开了一种加热腔室及等离子体增强化学气相沉积装置,包括装载基片的载板,载板的下部固定有温度变形器件,载板的下方侧面对应于温度变形器件的位置设有测量光栅。温度变形器件能随载板的温度变化产生不同的变形,温度变形器件形变通过光栅的光量改变而捕捉,进而测量载板的温度。可以提高测温精度;对于温度过高的情况,可以测热电偶无法承受的区域温度。可以用于PECVD系统或其它需要在腔室内采用上下两层红外加热的系统,测量误差较小。
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来源：北方有色网
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