本实用新型涉及化学机械式研磨装置的调节器，化学机械式研磨装置的调节器包括：旋转部；加压部，其配备于旋转部的上部，选择性地向旋转部施加轴向加压力；测量部，其配备于加压部与旋转部之间，在将加压部施加的加压力传递给旋转部的同时测量加压力；调节盘，其结合于旋转部的下部，以被加压力加压的状态，在借助于旋转部而旋转的同时对研磨垫进行改质。
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来源：北方有色网
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