本公开一些实施例中提供一种化学机械平坦化系统。化学机械平坦化系统包括一垫、一平台、一泵以及一感测器。垫包括一第一侧以及与第一侧相对的一第二侧，其中第一侧是配置以在一化学机械平坦化制程期间接收一晶圆。平台沿着第二侧相邻于垫，其中平台包括一抽吸开口，且抽吸开口与第二侧接合。泵被配置以在抽吸开口处产生吸力，以将第二侧附着至平台。感测器是配置以收集一感测器数据，且感测器数据表征垫以及平台之间的一附着均匀性，其中泵是配置以基于感测器数据，在抽吸开口处产生吸力。本公开还涉及一种化学机械平坦化方法。
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来源：北方有色网
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