本发明公开了一种提高化学机械抛光研磨液使用率的系统,包括化学机械抛光装置,研磨液供给装置,接受从研磨垫上流出的研磨液的管路,研磨液再循环管路,从研磨液再循环管路一端流出的研磨液与研磨液供给装置中流出的研磨液原液汇合通过研磨液供给装置传送到研磨垫的表面。本发明还公开了一种提高化学机械抛光研磨液使用率的方法,包括以下步骤:1.实时检测从研磨垫上流出的研磨液参数;2.确定研磨垫上流出的研磨液参数符合工艺要求;3.使循环使用液的研磨液与研磨液原液的混合研磨液达到工艺要求并将混合研磨液输送到研磨垫的表面。本发明提高了研磨液的使用率。
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来源：北方有色网
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