本发明公开了一种大功率热梯度化学气相渗透工艺系统监控装置,温度传感器、压力传感器、元件损坏检测器、瓦斯信号检测器以及流量计的所采集的信号传输给监控计算机,监控计算机同时输出两路信号,一路到显示器,另一路通过D/O转换器与驱动放大电路分别控制脉冲封锁继电器和中间继电器,进而控制脉冲触发电路和真空开关继电器,使得整流电路停止工作或高压开关断开。还公开了上述装置的监控方法,监控计算机采集温度、压力等信号与设定的标准值进行比较,比较结果为正常时,循环采集比较,直至沉积工艺结束;比较结果不正常时,则关断10KV高压电路,或者使整流电路停止工作并报警。本发明采用数据库进行管理,实现了大功率TCVI工艺系统状态的自动检测。
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来源：北方有色网
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