本实用新型属于化学品供液罐领域，具体地说是一种可实时监测液位的化学品供液罐，包括罐体、封盖、可伸缩储液筒、执行器位置传感器及被感应零件，可伸缩储液筒设置于罐体的内腔中、且上端开口而下端密封，被感应零件设置于可伸缩储液筒的下端，执行器位置传感器安装于罐体的外部、并检测被感应零件的高度位置。被感应零件在可伸缩储液筒的下端随可伸缩储液筒上下移动，通过执行器位置传感器测出被感应零件的高度位置，进而得出可伸缩储液筒内腔中液体的高度大小。该过程中执行器位置传感器输出模拟量信号，转换成的液位高度曲线可为线性、连续，可对罐体中液体的液位进行实时监测，以便随时补充液体，从而完成对晶圆的不间断加工。
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来源：北方有色网
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