本发明提供了一种化学机械研磨工艺模型的预测方法，包括：从第一角以固定的步进尺寸将版图划分为多个第一格点，直到位于版图边缘的第一格点的尺寸小于或等于非边缘的第一格点的尺寸，若边缘第一格点的尺寸小于非边缘第一格点的尺寸，则边缘第一格点为非完整格点并具有长和宽；将版图重新划分为多个第二格点，包括：从非完整格点所在的边和非完整格点的对边开始划分多个边缘第二格点，剩余的版图根据步进尺寸划分为多个非边缘第二格点；提取非边缘第二格点的几何信息；从边缘第二格点所在的边开始以步进尺寸在版图上划分第三格点，并提取第三格点内的几何信息，最后将所有几何信息引入化学机械研磨模型中进行预测，并进行热点检测。
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来源：北方有色网
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