本公开是关于一种研磨器、化学机械研磨装置及研磨器的检测方法，研磨器包括研磨部和驱动部，研磨部安装于驱动部；驱动部内设置有气流通路，气流通路一端与负压产生装置连接，另一端与研磨部连接，用于在研磨部与驱动部连接的表面形成负压，使研磨部吸附于驱动部；研磨器还包括测压单元，测压单元被配置为测量气流通路内的压力。本公开中研磨器的驱动部内设置连通负压产生装置的气流通路，由气流通路的另一端与研磨部连接，使得研磨部安装状态下，气流通路呈密闭空间。通过对其气流通路内的压力进行测量，根据其压力可以确定研磨部的安装状态，降低侦测难度，提升侦测结果的准确度。
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编辑：管理员
来源：北方有色网
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