一种适用于金属丝键合的trench肖特基
芯片及其加工工艺。涉及一种肖特基芯片及其加工工艺，尤其涉及一种适用于金属丝键合的肖特基芯片及其加工工艺。提供了一种在芯片区域内增加平面键合区域，避免沟槽损伤的适用于金属丝键合的trench肖特基芯片及其加工工艺。所述trench区域上还设有平面键合区，所述平面键合区为光滑平面，所述平面键合区上敷设表面金属。所述trench区域的边缘和平面键合区的边缘分别设有保护环。所述沟槽的内壁经过氧化处理，形成二氧化硅层。本发明便于用户使用，也便于生产者区分键合线路走向，使芯片连接更加直观，便于查找故障点。
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来源：北方有色网
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