本实用新型公开了微蚀液循环再生系统。本实用新型包括调整失效微蚀液H2O2含量的调整系统、
铜回收系统和自动添加系统,调整系统设有与微蚀槽相连的管路,调整系统通过管路与铜回收系统相连接,铜回收系统通过管路与自动添加系统相连接,自动添加系统设有与微蚀槽相连的管路。整个系统是封闭循环运行,无需外排废液,不会对环境造成危害;只需要添加消耗的添加剂就能不断的再生合格的微蚀液,保证了微蚀刻的稳定性和一致性,有效地降低了微蚀刻的成本,保证了微蚀刻的质量。与此同时,通过铜回收系统还能获得高价值的副产品金属铜,进一步降低了处理成本。
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来源：北方有色网
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