一种硅料清洗剂,包括了清洗剂SX1和清洗剂SX2两部分；所述清洗剂SX1由柠檬酸、乙酸、甜菜碱和高纯水配置组成，质量比为柠檬酸0.5‑1份、乙酸0.2‑0.5份、甜菜碱0.5‑1.0份、余量为高纯水；所述清洗剂SX2由氢氟酸配置去离子水制成，质量比为氢氟酸5份、余量为去离子水。有益效果在于：所使用的酸均为弱酸，不会对操作人员产生危害，安全性高；在对硅料的清洗过程中不会产生氮氧化物，对硅料表面伤害小，对环境不会产生污染，清洗后的废液酸性弱，容易处理。
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来源：北方有色网
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