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一种高真空碘化铯物理气相沉积镀膜设备

1188   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 06:10:50
本实用新型涉及镀膜设备技术领域,且公开了一种高真空碘化铯物理气相沉积镀膜设备,包括第一镀膜罐体和第二镀膜罐体,所述第一镀膜罐体与第二镀膜罐体通过罐体锁轴转动连接,所述第一镀膜罐体和第二镀膜罐体的内部均设置有真空镀膜腔,所述第二镀膜罐体的内侧设置有分子镀膜窗。该碘化铯物理气相沉积镀膜设备,转换阀管可以控制罐内气体的输出方向,在镀膜加工前,通过真空泵端口将罐体内部的空气抽出,转换阀管的一侧设置有废水箱端口,废水箱端口与水箱连接,在镀膜完成后,将抽出的碘化铯蒸汽通过废水箱端口输入到水箱的内部,使碘化铯蒸汽溶于水中,这样便可以避免碘化铯蒸汽进入到空气中对人体造成危害。
声明:
“一种高真空碘化铯物理气相沉积镀膜设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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