本实用新型公开了一种HMDS涂布设备，包括壳体，所述壳体内构成涂布腔，所述涂布腔内设置有加热件，还包括用于向涂布腔内输送氮气的第一管道，用于向涂布腔内输送HMDS蒸汽与氮气混合气体的第二管道，用于向涂布腔内输送空气的第三管道，用于从涂布腔向外排气的排气管道和用于对涂布腔抽真空的抽真空管道，所述抽真空管道上设置有
真空泵，所述第一管道、第二管道、第三管道、排气管道和抽真空管道分别与涂布腔连通。其保证涂布效果的同时，有效减少HMDS的使用量，避免了废气中HMDS对环境的危害。
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来源：北方有色网
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