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用于硅锭切片的支撑板及其制作方法

788   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 05:22:38
本申请公开了一种用于硅锭切片的支撑板及其制作方法,支撑板的组成材料包括ABS塑料和SAN塑料,ABS塑料的重量份数为50~100份,SAN塑料的重量份数为0~50份。本申请中的支撑板由热塑性的ABS塑料和SAN塑料制成,支撑板的抗拉强度与弯曲强度提高,减少切割过程中崩边的情况发生,良率提高,且可以降低金刚线的断线几率;在硅片切割过程中无需降低台速,缩短切割时间,提升切割效率且降低切割能耗;并且,不掺任何无机物,可以对切割完毕后的支撑板进行回收得到回料,回料可以制成支撑板的底面回料层,避免固废垃圾的产生,绿色环保,并且本申请中的支撑板的密度低于现有的支撑板密度,支撑板的质量更轻,易于回收操作。
声明:
“用于硅锭切片的支撑板及其制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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