一种用于从由大容量金属有机化学气相沉积(MOCVD)(120)操作产生的废气流中去除有毒废物的系统，包括：第一冷阱(130)，其配置成在第一压力操作并冷凝和分离废气流中的有毒物质，以作为固体废物被去除；泵(140)，其连接到第一冷阱(130)并配置成增加废气流的压力；热裂解器(150)，其连接到泵(140)并配置成分解在第一冷阱(130)后残留在废气流中的有毒物质；第二冷阱(160)，其连接到热裂解器(150)并配置成在高于第一压力的第二压力操作，并冷凝残留在废气流中的分解后的有毒物质，以作为固体废物被去除；和洗涤器(170)，其连接到第二冷阱(160)并配置成吸收在第二冷阱(160)后残留在废气流中的有毒物质。还公开一种用于从由大容量金属有机化学气相沉积(MOCVD)(120)操作产生的废气流中去除有毒废物的方法。
声明：
“用于MOCVD减排的方法和系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
1010
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
