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新型单晶硅切割废砂浆再利用生产工艺

785   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 04:41:32
本发明公开了一种新型单晶硅切割废砂浆再利用生产工艺,在回收废砂浆中硅片切割液的同时,也对其中的碳化硅微粉和单晶硅固体进行了回收利用,回收率高。回收的硅片切割液具有与新切割液相同的表面活性、悬浮力和携带力,该生产工艺流程简便,建设运行成本较低,管理简单,能有效回收处理单晶硅切割废砂浆。
声明:
“新型单晶硅切割废砂浆再利用生产工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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