本发明提供了一种硅片切割废砂浆中液体的回收循环再生利用工艺,首先将硅片切割废砂浆原料进行固液分离,分离出固体
碳化硅(SIC)和液体聚乙二醇(PEG)两块;其中液体聚乙二醇经过过滤、脱色、脱水、纯化、调配、包装等流程可从每吨废砂浆中可提纯45%的符合硅片切割要求的聚乙二醇液体(切削液)。本发明能够及时处理硅片切割厂家所产生的砂浆废料,回收的聚乙二醇可直接供切割厂家循环使用,具有较好的经济与社会效益,为节约能源和环境保护做出贡献。
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来源：北方有色网
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