一种所述的电子超纯水的循环回用处理方法，它属于水处理技 术，它包括如下工艺步骤：首先经过超滤系统过滤脱除悬浮性杂质双 氧水氧化分解：在上述超滤后的废水中中投加200-500ppm的双氧水； 紫外线照射：将投入了双氧水的污染水通过紫外光照射反应装置，紫 外光的波长范围是185-254nm，照射剂量是50-500J/m2，然后让污染 水在水箱中停留20-60分钟；反渗透：将经过充分氧化降解处理的废 水泵入反渗透膜模块或者纳滤装置中进行过滤；混床：将纳滤或反渗 透处理后的水导入混床，脱除水中的带电离子等杂质。采用本发明与 常规有臭氧参加氧化脱除TOC的方法相比，工艺方法安全、简洁，处 理完毕的清洗水可以再次回用做高端电子产品纯水。
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来源：北方有色网
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