本实用新型涉及一种硅片逆流清洗槽，包括顶部敞口的槽体，槽体内呈上下分布有若干顶部敞口的水盒，水盒水平设置且其一端为固定端并与相应槽体内壁固连、另一端为自由端并与相应槽体内壁之间留有第一间隙，相邻两水盒的固定端相反，每个水盒的上方均水平且转动设有清洗输送网带，清洗输送网带沿对应水盒的固定端至自由端输送且其尾端延伸至第一间隙上方并与相应槽体内壁之间留有第二间隙，位于水盒上方的清洗输送网带的上半部分的上下方均设有中空的冲洗板，两冲洗板相对的一侧上均连通有若干喷头，喷头朝向对应的水盒固定端向下倾斜设置。本实用新型可实现对硅片的多次逆流清洗，并对清洗废水有效回收再利用，清洗效果更佳，更加实用。
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来源：北方有色网
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