本实用新型提供了一种切割中单晶硅的应急超声波清洗装置，包括控制柜、超声波发生器和清洗槽，所述的控制柜与超声波发生器连接用于控制超声波发生器，所述超声波发生器设置在清洗槽内部，所述清洗槽内具有单晶硅搁置架，所述单晶硅搁置架底部通过一个导轨与清洗槽连接，所述单晶硅搁置架可以在清洗槽内滑动，所述清洗槽底部设置有排渣孔和排水口。本实用新型大大提高了超声清洗的效果，同时可以对废水和废渣进行单独排放。解决现有超声波清洗效果不好，残渣清除不易的问题。
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来源：北方有色网
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