本实用新型涉及
锂电池技术领域，尤其涉及一种磁控溅射装置和制备电极的设备。本实用新型的多元磁控溅射装置和制备电极的设备，可以同时进行多种靶材的溅射镀膜，而且可以根据设定各个靶材的溅射速度来得到不同原子比例组分的薄膜，当需要溅射获得不同成分的薄膜时，直接替换靶材即可，使用简单、方便，生产效率高，符合大规模生产的需求。
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“多元磁控溅射装置和制备电极的设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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编辑：管理员
来源：北方有色网
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