本发明提供一种射束检测构件及使用了该构件的射束检测器,能够高精度且长期稳定地检测放射光束和软X线射束等的位置及其强度分布,还有它们时间的变化,能够用比现有的检测装置更低的成本制造。用于检测射束的位置和强度的射束检测构件(2),照射射束的射束照射部由多晶金刚石(C)膜(4)构成,该多晶金刚石(C)膜含有X/C=0.1～1000PPM至少选自硅(SI)、氮(N)、
锂(LI)、铍(BE)、硼(B)、磷(P)、硫(S)、
镍(NI)、钒(V)中的一种或两种以上的元素(X),且具有当向该多晶金刚石膜(4)照射上述射束时发光(8)、(8A)的发光功能。通过这种射束检测构件(2)和观测上述发光现象的发光观测装置(3)、(3A)构成射束检测器(1)。
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来源：北方有色网
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