在真空室(14)内容纳检查对象的
锂离子电池(11)。在真空室(14)的上部连接有初始排气配管(47)和检查排气配管(51)。经由初始排气配管(47)对真空室(14)内进行初始排气而降低至检查压力(Pe)。之后，经由检查排气配管(51)进行检查排气。在检查排气配管(51)的中途连接有传感器单元(16)。穿过检查排气配管(51)的排气气体从流入口向传感器单元(16)的内部流入，通过设置于内部的喷嘴朝向气体传感器的传感面垂直地流动。排气气体穿过气体传感器的内部而从排出口向传感器单元(16)的外部排出。
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“传感器单元及气密性检查装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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