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分步加热制备硅基三维纳米结构的方法

909   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 00:13:42
本发明涉及一种分步加热制备硅基三维纳米结构的方法,使用两个内径不同的中空石墨坩埚,使得两个坩埚相互嵌套,其中一个石墨坩埚放置硅源,另一个石墨坩埚放置镀铁的硅片作为基底,并将两个坩埚放置在适当位置;迅速将温度升高至950摄氏度,保持温度5分钟后降低感应炉功率,使温度在数秒内下降至850摄氏度左右,继续保持5分钟后关闭电源。在硅片基底上可以得到三维纳米结构,具体为较粗的硅纳米线构成三维结构的骨架,在骨架间隙内填充有极细的硅纳米丝状物。所得材料具有较大的比表面积和牢固的三维骨架,因此在电池和高性能传感器中有较好的应用。
声明:
“分步加热制备硅基三维纳米结构的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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