本发明公开了一种正交融合结构声表面波一氧化碳气体传感器，包括声表面波器件和智能控制模块，声表面波器件与频率测量装置相连接，智能控制模块通过数据采集处理单元分别与温度传感器、湿度传感器、压力传感器、频率测量装置相连接，智能控制模块分别与神经网络误差补偿单元、云通信模块相连接；所述声表面波器件包括YZ切铌酸
锂的基底，基底上蒸镀一层ZnO保护层，ZnO保护层上蒸镀刻蚀有相互正交的两条声表面波延迟线，两条声表面波延迟线相交处设有一氧化碳敏感膜，一氧化碳敏感膜为掺杂有ZnO和An2O3的聚苯胺纳米敏感材料。本发明可实现对一氧化碳气体的常温下敏感、高精度测量和智能误差补偿，实现了声表面波一氧化碳气体传感器的云测试通信。
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来源：北方有色网
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