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抽真空的控制方法及其控制系统以及真空阀

856   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 00:04:03
本发明公开了一种抽真空的控制方法,涉及离子电池制造工艺技术领域。本发明通过控制阀或开关装置的开合度大小或者空气流通截面大小,从而在分阶段中的每一个阶段精准实现抽真空操作,其通过真空腔体的真空度大小,缓慢调节开合度或空气流通截面,使开合度或流通截面减小到预设值;然后在真空腔体真空度到达预设值时,瞬间调节开合度或流通截面至0;其能快速将真空腔体与抽真空装置的连通断开,以实现关闭动作,保证真空腔体内平稳的真空度;其能满足抽真空工艺要求,提升抽气装置的可靠性。
声明:
“抽真空的控制方法及其控制系统以及真空阀” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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