一种LI掺杂ZNO陶瓷靶材制备工艺,属于陶瓷靶材制备技术领域。工艺为:将硝酸
锌、硝酸
锂、尿素和甘氨酸混合均匀后放入烧杯中,注入去离子水并搅拌至原料全部溶解,将溶液加热转入蒸发皿直至燃烧反应发生,合成LI掺杂的ZNO粉体。将该粉体研磨,然后装入放电等离子烧结炉中烧结,所得产品为LI掺杂ZNO陶瓷靶材。本发明的优点在于:原料便宜易得,工艺周期短,所得的靶材纯度高,掺杂均匀,在LI元素在ZNO晶格中的位置为替代ZN的位置,实现ZNO的受主掺杂,利用该陶瓷靶有益于LI掺杂P型ZNO薄膜的制备。
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来源：北方有色网
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